高純液質聯用氮氣發生器包括氮氣緩沖系統、氮氧分離系統、空氣儲罐系統等。在這些系統中，氮氧分離系統是制氮設備的主要部件，由兩個交替工作的吸附塔和氣動閥、節流閥、消音器等組成。根據碳分子篩對空氣中主要成分氧氣和氮氣的吸附速率不同，在液質聯用專用氮氣發生器加壓吸附和降壓脫附過程中實現氮氧分離，而加壓吸附與降壓脫附過程由可編程控制器按一定程序控制電磁閥，并由電磁閥控制相應的氣動閥自動運行。

　　氮氣緩沖系統：其主要作用在于均衡從氮氧分離系統分離出來的氮氣的壓力和純度，保證連續供給氮氣。同時，在吸附塔進行生到吸附切換時，它將存儲的部分合格氮氣回充吸附塔保護床層，另外也有幫助吸附塔升壓的作用。該系統由流量計、緩沖罐、粉塵過濾器、節流閥、調壓閥、防護閥等組成。